XY 氣浮軸承平臺
• 直線電機直接驅動
• 超高的平面度和直線度
• 理想化的高精度和平滑運動
1.持續力和峰值力可以通過使用更大的電機提高
2.基于2kg的負載測試
3.基于0.5um的編碼器分辨率，可選用不通的編碼器分辨率。
4.其他行程需要可以咨詢我們。
| 上軸 |
| 規格 | RU-AUM2-S2 |
| 性能參數 | 單位 | 串聯 |
| 連續力，線圈@100℃ | N | 17.6 |
| 峰值力 | N | 88 |
| 電機常數 | N/Sqrt（w） | 4.31 |
| 連續功率 | w | 16.6 |
| 峰值功率 | W | 416 |
| 磁變周期 | Mm | 30 |
| 總線電壓 | V | 330 |
| 線圈溫度 | ℃ | 125 |
| 熱耗散常數 | W/℃ | 0.22 |
| 連續電流 | Arms | 1.6 |
| 峰值電流 | Arms | 8 |
| 力常數 | N/ Arms | 11 |
| 反電動勢常數 | Vpeak(M/S) | 9 |
| 電感 | mH | 1.5 |
| 終端電阻@25℃ | Ohms | 6.5 |
| 電器時間常數 | Ms | 0.23 |
| 機械參數 | |
| 線圈質量 | Kg | 0.118 |
| 線圈長度 | Mm | 61 |
| 磁軌質量(每120mm) | Kg | 0.458 |
| 磁吸引力 | N(Ⅰb) | 0 |
| 下軸 |
| 規格 | RU-ACM1-S3C |
| 性能參數 | 單位 | 串聯 |
| 連續力，線圈@100℃ | N | 52.9 |
| 峰值力 | N | 241.9 |
| 電機常數 | N/Sqrt（w） | 12.93 |
| 連續功率 | W | 16.8 |
| 峰值功率 | W | 350.2 |
| 磁變周期 | MM | 20 |
| 線圈溫度 | ℃ | 130 |
| 持續電流 | Arms | 2 |
| 峰值電流 | Arms | 9.6 |
| 力常數 | N/ Arms | 25.2 |
| 反電動勢常數 | Vpeak(M/S) | 20.6 |
| 電感 | mH | 13.5 |
| 終端電阻@25℃ | Ohms | 3.8 |
| 磁吸引力 | N(Ⅰb) | 480 |
| 線圈質量 | Kg | 0.6 |
| 線圈長度 | Mm | 96 |
| 磁軌質量(每80mm) | Kg | 0.26 |
| x軸（上軸） |
| 行程長度 | 250mm |
| 平面度/平行度 | 全行程±1ｕm |
| 推薦負載 | 2kg |
| 負載 | 5kg |
| 直選電機型號 | AUM2-ss4k-j-3.0 |
| 電機持續力 | 44n |
| 電機峰值力 | 176n |
| 直線度 | 全行程±5um |
| 重復定位精度 | ±2.5 um |
| Y軸（下軸） |
| 行程長度 | 250mm |
| 平面度/平行度 | 全行程±1ｕm |
| 推薦負載 | 2kg |
| 負載 | 5kg |
| 直選電機型號 | AUM1-s30-j-3.0 |
| 電機持續力 | 53n |
| 電機峰值力 | 242n |
| 直線度 | 全行程±5um |
| 重復定位精度 | ±2.5 um |
| 正交性 | ±arc second |
| 整體平面度 | ±1ｕm |
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