隨著科研及制造業不斷發展，相應的加工檢測設備的性能相應提高，我司在運動控制上有著豐富的制造經驗，推出了一款大行程的WNQFGD系列雙軸超氣浮運動臺，用于半導體膜厚檢測，同時膠厚測量、激光加工、封裝檢測及其它制造業。
定制化設計
我司制造的大行程雙軸氣浮運動臺用于半導體膜厚檢測，氣浮非接觸式結構已經證明是應用中的理想選擇。這種結構可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底軸Y軸用于微動調整步進，納米級微動步距，氣浮結構保證了高直線度，上軸X軸搭載檢測儀器，高平面度指標保證了理想的切割直線，在200mm/s時速度穩定性0.05%，同時能夠實現高動態響應和快速位置整定。各軸行程可定制。
大理石龍門結構設計，剛性好，穩定性高。大理石基座上可以增加多個Y軸，龍門架X軸行程可定制，提升工作效率。
精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。
整套設備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。
| 產品型號 | 單位 | RUQFGD-600-300 | RUQFGD-800-450 | RUQFGD-1200-650 | ||||||
| 運動軸 | 軸系 | X） | Y | x | y | X | Y | |||
| 行程 | mm | 600 | 300 | 800 | 450 | 1200 | 650 | |||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.25 | ±0.15 | ±0.45 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.25 | ||
| 標準值 | ±0.4 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±1 | ±0.4 | ||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.15 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.15 | ±0.3 | ±0.2 | ||
| 標準值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.35 | ±0.25 | ||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.5 | ||
| 標準值 | ±1 | ±0.5 | ±1 | ±0.1 | ±1.5 | ±1 | ||||
| 平行度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.5 | ||
| 標準值 | ±1 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1 | ||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | ||||||||
| 速度 | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||||
| 加速度 | m/s | 5，（10，20）定制 | ||||||||
| 負載 | Kg | 20 | ||||||||
| 速度穩定性 | % | 0.05%@v=200mm/s | ||||||||
| 供氣壓力 | Mpa | 0.5±0.05 | ||||||||
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