| 軸系 | X軸 | Y軸 | Z軸 | |
| 產品型號 | DZRU-0516-01-00 | DZRU-0516-01-00 | RU200TA400H | |
| 結構描述 | 行程 | 200MM | 200MM | 400MM |
| 直線電機 | ILM5-L24S-TP-3.0 | ILM5-L24S-TP-3.0 | - | |
| 導軌 | SHS15V2SS-520L P-II | SHS15V2SS-520L P-II | 高精密線性滑塊導軌 | |
| 主體材料 | 鋁合金/不銹鋼 | |||
| 表面處理方式 | 陽極氧化發黑 | |||
| 臺面承載 | 5-10KG | 5-10KG | 20KG | |
| 重量 | 16.9KG | 16.9KG | 7.2KG | |
| 精度描述 | 分辨率 | 0.1ｕM | 0.1ｕM | 25ｕ/50Ｕ（無細分）1.25ｕ/2.5ｕ(20細分) |
| 速度 | 600MM/S | 600MM/S | 50MM/SEC或100MMSEC | |
| 重復定位精度 | 1ｕM | 1ｕM | 2ｕM | |
| 定位精度 | 3ｕM | 3ｕM | 5ｕM | |
| 直線度 | 2ｕM | 2ｕM | 5ｕM | |
| 運動平行度 | 5ｕM | 5ｕM | 20ｕM | |
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