隨著半導體行業的不斷發展，相應的加工檢測設備的性能相應提高，我司在運動控制上有著豐富的制造經驗，推出了一款大行程的WNQFGT系列三軸氣浮運動臺用于晶圓激光加工。同時可應用于激光加工、CCD成像、LED封裝檢測、晶圓檢測以及其它制造等行業。
定制化設計
我司制造的大行程三軸氣浮運動臺用于晶圓激光加工行業，氣浮非接觸式結構已經證明是應用中的理想選擇。這種結構可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底軸Y軸用于微動調整步進，氣浮結構保證了高直線度。上軸X軸搭載激光用于快速掃描切割晶圓，高平面度指標保證了理想的切割直線，同時能夠實現高動態響應和快速位置整定，Z軸采用低摩擦氣缸配重，用于微調整，氣浮結構有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。
大理石龍門結構設計，剛性好，穩定性高。大理石基座上可以增加多個Y軸，龍門架X軸行程可定制，提升工作效率。
精心優化線纜彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到性能，使用高質量的電纜，以確保操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。
整套設備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。
| 產品型號 | 單位 | RUQFGt-400-400-150° | RUQFGt-500-500-150 | RUQFGt-600-600-150 | ||||||||||||
| 運動軸 | 軸系 | X（上） | Y（底） | z | x（上） | y（底） | z | x（上） | y（底） | z | ||||||
| 行程 | mm | 400 | 400 | 150 | 500 | 500 | 150 | 600 | 600 | 150 | ||||||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.3 | |||||||||||||
| 標準值 | ±0.5 | |||||||||||||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.1 | |||||||||||||
| 標準值 | ±0.2 | |||||||||||||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | |||||||||||||
| 標準值 | ±0.1 | |||||||||||||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | ||||||||||||||
| 速度 | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||||||||
| 加速度 | m/s | 5，（10，20）定制 | 2 | 5，（10，20）定制 | 2 | 5，（10，20）定制 | 2 | |||||||||
| 負載 | Kg | 20 | ||||||||||||||
| 速度穩定性 | % | 0.05%@v=200mm/s | ||||||||||||||
| 負載 | Kg | 15 | 10 | 15 | 10 | 15 | 10 | |||||||||
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