此產品通過X、Y、Z三軸移動來調整刮刀位置，由力傳感器來感應刀片下降過程所受到的力大小，從而完成刮涂硅片的工作。
| 描述 | 規格 | X軸 | Y軸 | Z軸 |
| 結構描述 | 行程 | 200mm | 100mm | |
| 臺面尺寸 | 115x115mm | |||
| 主體材料 | 鋁合金 | |||
| 表面處理 | 陽極氧化發黑 | |||
| 臺面承載 | 7kg | 15kg | ||
| 精度描述 | 速度 | 25mm/sec | ||
| 重復定位精度 | 1ｕm | |||
| 定位精度 | 3ｕm | |||
| 回程間隙 | 2ｕm | |||
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